KrFレジスト用ベースポリマー

①P（PHSt）　Mw=15K PDI<1.02
②P（PHSt）　Mw=18K PDI<1.02
③P（PHSt）　Mw=21K PDI<1.02
④P（PHSt）　Mw=24K PDI<1.02
⑤P（PHSt）　Mw=27K PDI<1.02
⑥P（PHSt）　Mw=30K PDI<1.02
⑦P（PHSt）　Mw=33K PDI<1.02